產(chǎn)品參數(shù)
| 序 | 項(xiàng)目 | 規(guī)格 |
| 1 | 設(shè)備尺寸 |
1100mm*1000mm*2014 mm（W*H*D） （含底輪指示燈） |
| 2 | 電力需求 | 380V，16A |
| 3 | 腔體尺寸 | 尺寸：400mm*400mm*450mm（W*H*D），70L 材質(zhì)：304 不銹鋼 |
| 4 | 電極形式 | 內(nèi)置平板式電極，尺寸：375*360mm； |
| 5 | 托盤載物 | 單層載物面積：340*340mm，共 6 層，層間距：50mm |
| 6 | 真空泵 | 油泵，抽速：60m3/h，極限真空：1Pa |
| 7 | 等離子發(fā)生源 | 13.56MHz；600w 連續(xù)可調(diào) |
| 8 | 進(jìn)氣系統(tǒng) | 共 2 路進(jìn)氣；0-500sccm 質(zhì)量流量控制器 |
| 9 | 控制系統(tǒng) | PLC+觸摸屏 |
| 10 | 真空測量系統(tǒng) | 日本愛發(fā)科皮拉尼真空計(jì) |
| 11 | 處理時間 | 5-60min |
| 12 | 工作真空度 | 5-80Pa |
| 13 | 可使用氣體 | Ar、O2、N2、Ar+ H2、CF4、空氣等 |
| 14 | 權(quán)限設(shè)置 | 兩級權(quán)限 |
設(shè)備外形及尺寸參考圖
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