等離子清洗機原理是在真空狀態下使電極之間形成高頻交變電場，區域內氣體在交變電場的激蕩下，形成等離子體，活性等離子對被清洗物進行物理轟擊與化學反應雙重作用，使被轟擊與化學反應雙重作用，使被清洗物表面物質變成粒子，和氣態物質，經過抽真空排出，而達到清洗目的。

      等離子體清洗機作為一種精密干法清洗設備，應用于半導體、厚膜電路、元器件封裝前、COG前工序、LED后工序、真空電子、連接器和繼電器等行業的精密清洗、塑料、橡膠、金屬和陶瓷等表面的活化以及生命科學實驗等。

特點：
1、所有關鍵部件全部采用進口，確保設備運行壽命和產品質量。
2、PLC或工控機控制，工藝參數、運行時間、工藝過程實時監視并顯示運行狀態包括自動模式和手動模式。
3、清洗時間、基礎壓力、功率、流量設定可調。
4、工作氣體壓力低、壓縮空氣壓力低、泵熱過載、反應倉泄露、反射功率過大報警。
5、可根據客戶工藝定制（在線式）等離子體清洗機。

1、什么是等離子體
     等離子體是物質的一種存在狀態,通常物質以固態、液態、氣態3種狀態存在,但在一些特殊情況下可以以第四種狀態存在,如太陽表面的物質和地球大氣電離層中的物質。這類物質所處在的狀態稱為等離子體狀態，又稱為物質的第四態。等離子體中存在下列物質。處于高速運動狀態的電子；處于激活狀態的中性原子、分子、原子團(自由基)；離子化的原子、分子；分子解離反應過程中生成的紫外線；未反應的分子、原子等，但物質在總體上仍保持中性狀態。

2、如何用人工方法制得等離子體
     通過多種形式，如電弧放電、輝光放電、激光、火焰或者沖擊波等，都可以使處于低氣壓狀態下的氣體物質轉變成等離子體狀態。如在高頻電場中處于低氣壓狀態的氧氣、氮氣、甲烷、水蒸氣等氣體分子在輝光放電的情況下,可以分解出加速運動的原子和分子，這樣產生的粒子被解離成電子和有正負電荷的原子和分子。這樣產生的帶電粒子和電子在電場中加速時會獲得高能量，并與周圍的分子或原子發生碰撞，結果使分子和原子中又激發出電子，而本身又處于激發狀態和離子狀態，這時物質存在的狀態即為等離子體狀態。

3、等離子體的種類
（1）從溫度上區分，可分為高溫等離子體和低溫等離子體兩類。
（2）從氣體活潑程度區分，根據產生等離子體時應用的氣體的化學性質不同，可分為活潑氣體等離子體和惰性氣體等離子體兩類。

4、等離子體與物體表面的作用
     在等離子體中除了氣體分子、離子和電子外，還有存在受到能量激勵狀態電中性的原子或原子團(又稱自由基)，以及等離子體發射出的光線，其中波的長短、能量的高低,在等離子體與物體表面相互作用時有著重要的作用。
（1）原子團等自由基與物體表面的反應
（2）電子與物體表面的作用
（3）離子與物體表面的作用
（4）紫外線與物體表面的反應